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                          光掩膜版
                          
        
                          
        
        
                          
                    
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                          类型及规格
                          
        
                          
             
                          
      
                          
      
    
                                  
                          
            
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                          光掩模版也称 “光罩”、“铬版”，是在苏打或者石英玻璃为透明基板上镀一层铬，经过激光光刻曝光技术，最终蚀刻残留铬部分得到所需的微电路图案

                                  
                          
      
      
                          
    
                          
    
                          
  
                          

                          


                          
  
                          
    
                          
      
    
                          
    
    
                          
  
                          
  
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